EFM H (source atomique d'hydrogène)

Description

  • Dépôt extrêmement précis, reproductible et pur
  • Etuvable entièrement jusqu'à 250 °C
  • Type d'évaporants : atomes d'hydrogène
  • Taux de dissociation H2 proche de 100%
  • Profil de faisceau : trapézoïdal (largeur à mi-hauteur : ±15° à ±6°)
  • Piquages CF16 pour entrée de gaz et pompage de ligne de gaz
  • Refroidissement à l'eau (concept breveté) pour un dépôt ultra propre (pression de base < 10-10 mbar)
  • Taille de la zone d'évaporation : 4-20 mm
  • Evaporation : à partir d'une source de gaz
  • Mesureur de flux intégré
  • En option : supression d'ions
  • Obturateur intégré
  • Capacité du creuset jusqu'à 700 mm3
  • Bride de montage : CF40
  • Contrôleur avec logiciel Epitass pour dépôt à distance et sauvegarde des recettes

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