EFM 3T (source d'évaporation à 3 cellules)

Description

Dépôts séquentiels ou simultanés extrêmement précis, reproductible et pur
Jusqu'à trois évaporants déposés séquentiellement ou simultanément
Trois cellules totalement indépendantes possédant chacune : filament et HT, mesureur de flux et chargement évaporant
Pas de contamination croisée : les faisceaux se recouvrent à une distance d'environ 90 mm de la source
Pas d'échange thermique entre les cellules
Obturateur conçu pour obtenir toutes les combinaisons possibles de dépôt ou co-dépôts
Etuvable entièrement jusqu'à 250 °C
Température d'évaporation : 100 °C à 3300 °C
Type d'évaporants : métaux (Fe, Co, Cr, Mn, Ni, Pt, Ag, Au, Al, Ti, Ta, W), semiconducteur (Si) et matériaux organiques (molécules aromatiques : phtalocyanine, porphyrine, cyle benzénique etc.)
Refroidissement à l'eau (concept breveté) pour un dépôt ultra propre (pression de base < 10-10 mbar)
Taille de la zone d'évaporation : 8.5 mm, 11 mm et 15 mm
Evaporation : à partir de creusets (matériaux en poudre) ou de barreaux
Translateur Z : pour recharger l'évaporant
Mesureur de flux intégré
Obturateur intégré
Capacité du creuset jusqu'à 700 mm3
Bride de montage : CF40
Contrôleur avec logiciel Epitass pour dépôt à distance et sauvegarde des recettes